產經

內地自研光刻機可產8納米以下晶片

ASML近乎壟斷光刻機市場。 ASML近乎壟斷光刻機市場。
ASML近乎壟斷光刻機市場。
美國不斷收緊對中國的晶片技術出口,但也未能阻止中國自研技術的發展,甚至反過來鼓勵了國產技術加速突破。中國工信部近日公布了一份重大技術裝備推廣目錄,其中包括一項國產「氟化氬(ArF)光刻機」的深紫外光(DUV)光刻機。據內地傳媒報道稱,這款DUV光刻機將能夠助力中國量產8納米以下製程工藝的晶片。
報道引述資料稱,該光刻機的核心技術指標包括晶圓直徑300毫米、照明波長193納米、分辨率等於或小於65納米、套刻等於或小於8納米。話雖如此,目前7納米以下製程工藝基本上所用的設備都是更為先進的極紫外光(EUV)光刻機,而到底中國的DUV光刻技術能否像其宣稱那樣實現更小製程工藝的生產,尤其是良率,仍然是一大問號。
英特爾軍用晶片傳獲補助
由荷蘭ASML公司提供的光刻機設備,一直都幾乎壟斷了所有光刻機市場。儘管個別日本光學公司如尼康(Nikon)等也有生產光刻機的能力,但在先進半導體製造領域,基本上一定要用到ASML的產品。由於受到美國的出口管制限制,ASML無法向中國出口EUV光刻機。這次中國成功自主研發次一級的DUV光刻機,某程度上也算填補了這一空白。
另邊廂,受到美國政府重點扶持的英特爾(Intel)業務表現長期疲弱,甚至有傳其業務面臨分拆的命運。不過,外媒引述消息人士稱,英特爾與美國官員達成一項具有約束力的協議,稱該公司已正式有資格獲得高達35億美元(約273億港元)的聯邦撥款,為軍方生產晶片,涉及軍事和情報部門,項目名稱為「安全飛地(Secure Enclave)」。
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