荷撤光刻機輸華許可

涉ASML部分設備疑美促提早收緊管制

華為去年重整旗鼓的象徵——高端智能手機Mate 60 Pro，其7納米製程處理器晶片「麒麟9000S」乃同在美國實體清單的中芯國際(00981)代工，觸發各界尤其是美國政府高度關注。消息指，荷蘭政府撤回光刻機龍頭ASML一部分對華出口許可，原來是美國政府從中作梗，形同強行提早收緊出口管制。

中芯華虹股價跌2%

ASML證實，一些2023年的「NXT:2050i」及「NXT:2100i」光刻機出口許可遭荷蘭政府撤回，並稱這會「影響少數在中國的客戶」。據悉這些光刻機的光源算不上最尖端的DUV（深紫外光），「2100i」是改良版，問題是適用於45納米至7納米製程，即一部理論上用於成熟製程的DUV光刻機，或被美國「關注」的中國晶片廠以工藝搭夠生產先進的7納米製程（良率另計），故ASML去年3月已有感這些光刻機會被納入出口管制。

市場估計涉事的中芯，其股價昨於今年首個交易日挫2.31%；原則上製程組合未到以上兩個型號的華虹半導體(01347)亦跌1.9%。

中方：必將自食其果

ASML最先進的3款DUV光刻機已被納入出口管制，但今年才生效，因此去年仍可出口到中國。然而，消息指，原來美國政府曾「赤膊上陣」，派出國家安全顧問沙利文就對中國輸出3款DUV一事向荷蘭官員「打招呼」，不料荷方着美國直接找ASML，於是要求ASML立即暫停向部分中國客戶發貨，獲對方在新規生效前幾個星期（推斷為去年底）遵辦。

中國外交部發言人汪文斌嚴詞回應，中方一貫反對美國泛化國家安全概念，以各種藉口脅迫其他國家搞對華科技封鎖；半導體是高度全球化產業，美方霸道霸凌行徑嚴重違背國際貿易規則，嚴重破壞全球半導體產業格局，衝擊國際產業鏈供應鏈的安全和穩定，「必將自食其果」。

去年荷蘭對華半導體設備出口金額明顯上升，廣被視為中國廠商提早囤貨應對管制可能升級，中國去年11月又單方面給予荷蘭等幾個歐洲國家一年內免簽證入境中國內地的待遇。汪文斌敦促荷蘭「秉持客觀公正立場和市場原則，尊重契約精神，以實際行動維護中荷兩國和雙方企業的共同利益」。

中國少收多少部DUV光刻機是未知之數，但ASML強調，兩款DUV被拒對華出貨，以及現行的最新出口管制，預料不會對2023年業績指引（如收入增長近30%）構成重大影響；早前與美國政府「摸底」後得到關於出口管制更清晰的指引。ASML歐洲股價周二早段曾跌逾1%，其後跌幅顯著收窄。

業界人士早已質疑，中國廠商用DUV生產7納米製程晶片，就算造出來，良率也不高，經濟效益存疑。分析指美國此舉是扭盡六壬，扼殺中國自行生產尖端晶片的能力。