中國電子院否認國產化光刻機

上述HEPS項目坐落於北京市懷柔區雁棲湖畔，是內地首台高能量同步輻射光源，也是世界上亮度最高的第4代同步輻射光源之一。該項目2019年開始建設，2025年底投入使用。中國電子院表示，HEPS可以看成一個超精密、超高速、具有強大穿透力的巨型X光機，其產生的小光束可以穿透物質、深入內部進行立體掃描，從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界，這是進行科學實驗的大科學裝置而非光刻機工廠。

中國電子院稱，該項目由全國勘察設計大師、國投集團首席科學家婁宇帶隊，該院多個技術科研和設計團隊協同合作，從項目可研立項到項目落地克服多項技術和工藝難關，目前HEPS配套工程全面完工。